Вакуумные Системы

Главная      Каталог оборудования      Статьи      Контакты


Список оборудования <<<


Установка вакуумная напылительная УВН-4М




Установка вакуумная напылительная УВН-4М Предназначены для нанесения магнетронным распылением металлов на поверхность изделий различной геометрической формы, открытой для прямого попадания на нее испаряемых паров металла.

Установки могут быть использованы в производстве товаров народного потребления с улучшенной цветовой и декоративной отделкой поверхности, а также изделий с повышенной коррозионно- и износостойкостью.

Принцип работы установок основан на распылении материала мишени, которое осуществляется ионами рабочего газа, образующимися в плазме аномального тлеющего разряда, в скрещенных электрических и магнитных полях.

Питание установок от сети переменного трёхфазного тока напряжением 380/220 В, частотой 50 Гц.






Технические характеристики

Наименование параметра УВН-4М УВН-4МП  УВН-8МП
Производительность установки, м2/цикл, не менее 5,6 (12) 8 15,6
Максимальные размеры напыляемого изделия. мм 1500/2100 1300/1600 1300/3000
Давление в вакуумной камере до ионной очистки, Па (мм рт.ст.), не более 6,65х10-3 (5х10-5) 6,65х10-3 (5х10-5) 6,65х10-3 (5х10-5)
Давление в вакуумной камере при напылении, Па (мм рт.ст.) 6,65х10-2 -
6,65х10-1
(5х10-4 -
5х10-3)
6,65х10-2 - 6,65х10-1 (5х10-4 - 5х10-3) 6,65х10-2 - 6,65х10-1 (5х10-4 - 5х10-3)
Максимальная температура нагревателя, °С

600

600 600
Напряжение смещения, В

250

250 250
Распыляемый материал
титан, медь
и другие
немагнитные
материалы

титан, медь и другие
немагнитные материалы 

титан, медь и другие немагнитные материалы 

Потребляемая мощность, кВт, не более

48

73,5 94
Габаритные размеры приёмного устройства:
длина
ширина
высота

2100
1500
12

2100
1500
12
-
1400
1000
Максимальные размеры кассет, размещенных на барабане, мм
диаметр
длина
количество, шт.

210
1500
12

210
1500
12
-
3100
2
Напряжение питания при частоте 50 Гц 380/220+10%/-5% 380/220+10%/-5% 380/220+10%/-5%
Габаритные размеры,мм 3350х4400х2080 4900х3600х2080 5560х5300х2080
Масса установки, кг

6000

6000 13000




























































Габаритный чертеж установки УВН-4М

чертеж установки УВН-4М





Вакуумные Системы

2008-2010 © "Вакуумные Системы" | info@vacuum-systems.ru             
mostranssklad.ru - офис со складом аренда снять офис со складом. бесплатно